产品描述：
KOSAKA ET 4000 基于 Windows XP 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET4000 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。前制程机台(如曝光机、溅镀机、蚀刻机)best recipe 找寻。例如:PVD、CVD、DLC 真空溅镀薄膜台阶、应力测定及软质光阻材料等薄膜台阶量测。最主要是触针形状不同，ET(俗称 Alpha-step)是 R2um/60度钻石制、AFM 是蚀刻制，故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都 OK，差异是有些细微表面 ET掉不进去，故nm以下的表面粗度则以 AFM 为主。
技术参数：
KOSAKA ET 4000 基于 Windows XP 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET4000 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。前制程机台(如曝光机、溅镀机、蚀刻机)best recipe 找寻。例如:PVD、CVD、DLC 真空溅镀薄膜台阶、应力测定及软质光阻材料等薄膜台阶量测。最主要是触针形状不同，ET(俗称 Alpha-step)是 R2um/60度钻石制、AFM 是蚀刻制，故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都 OK，差异是有些细微表面 ET掉不进去，故nm以下的表面粗度则以 AFM 为主。
